세계적인 반도체 장비 회사 KLA가 첨단 메모리 반도체 제조를 위한 계측 장비인 '엑시온(Axion) T2000을 출시했다고 12일 밝혔다.
엑시온 T2000은 3D 낸드플래시, D램 등 메모리 반도체를 제조할 때 요긴하게 활용할 수 있는 장비다. 200단 이상의 3D 낸드플래시나 초미세 D램 제조 시 형성되는 좁고 깊은 회로의 불량 여부를 정확하게 측정할 수 있기 때문이다.
KLA는 엑시온 T2000에 독자 개발한 엑스레이 기술을 탑재했다. 이 엑스레이로 평면 사진 뿐만 아니라 3차원 분석 영상까지 구현할 수 있어 회로 구석구석을 입체적이고 세밀하게 측정할 수 있다.
신규 알고리즘인 '어큐세이프'도 적용했다. 반도체 웨이퍼에 충격을 주지 않고도 각종 계측 데이터를 생성할 수 있어서 생산성을 올릴 수 있다.
아흐마드 칸 KLA 반도체 공정 제어 사업부 대표는 "신규 장비는 3D 낸드와 D램 메모리 제조 공정을 위한 게임 체인저"라며 "메모리 반도체 칩 대량 생산 중 발생하는 오류를 해결하고 제조 시간을 단축할 수 있다"고 밝혔다.
