주성엔지, 박막증착장치등 국내특허 취득

입력 2010.05.24 17:30:51 수정 2010.05.24 17:30:51
주성엔지니어링은 20일 서셉터 지지대를 포함한 박막증착장치와 공정기체 공급장치에 관한 국내 특허를 취득했다고 24일 공시했다.

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