에스엔유, LCD등 박막 측정방법 특허

입력 2010.10.12 15:36:17 수정 2010.10.12 15:36:17
에스엔유는 LCD∙OLED∙태양광∙반도체 산업등에서 투명한 박막 두께를 나노급으로 3차원 측정할 수 있는 방법에 관한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

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