반도체 웨이퍼 두께 측정 정확해진다

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이재용 책임연구원(박사)가 레이저 간섭법을 이용한 웨이퍼 두께·형상 측정표준시스템을 이용해 웨이퍼의 두께 분포와 형상을 측정하고 있다. /사진제공=한국표준과학연구원
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