다층막 나노구조 3차원 측정 기술 개발
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김영식 한국표준연구원 박사가 광학단층촬영장비로 반도체 소자구조를 측정하고 있다. /사진제공=한국표준과학연구원
광학단층촬영 기술로 다층막 나노구조를 3차원 측정한 화면.
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