미세 반도체 발열특성, 현미경으로 잡아낸다
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공초점 열반사 현미경
<외산 상용장비와 자체개발 장비를 이용하여 측정한 반도체소자 발열영상 비교. (a) 박막 트랜지스터 광학현미경 이미지, (b) 외산 상용장비 (일본, H사, 중적외선 현미경)를 이용하여 측정한 발열영상 (공간 분해능: 3000 nm), (c) 본 기술을 적용한 장비로 측정한 발열영상 (공간분해능: 350 nm)
공초점 열반사 현미경과 연구진
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