반도체 박막 증착 과정, 실시간으로 본다
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한국생산기술연구원 고온에너지시스템그룹 허훈(사진 왼쪽에서 첫 번째) 박사 연구팀이 개발한 시스템을 점검하고 있다. 사진제공=한국생산기술연구원
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