반도체 EUV투자, 삼성이 TSMC 앞섰다
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이재용(오른쪽 두번째) 삼성전자 부회장이 지난해 10월 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보고 있다./사진 제공=삼성전자
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