이솔, EUV PR 평가 장비 성능 테스트 성공적…'업계 호평'
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이솔이 개발한 에밀레 장비. /사진제공=이솔
이솔의 에밀레 장비 기술 원리(왼쪽)와 회사가 구현한 패턴 모양. /사진제공=이솔
김병국 이솔 대표(왼쪽)와 이동근 이솔 부사장이 회사가 자체적으로 개발한 EUV 광원을 연구하고 있다./사진제공=이솔
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