삼성·TSMC·인텔, 이번엔 '반도체 펠리클 大戰'
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EUV 펠리클. /사진 제공=미쓰이화학
TSMC가 발표한 EUV 펠리클 생산능력, EUV 마스크 수명 현황. /자료=TSMC
EUV 노광 원리. /사진 제공=ASML
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