[강해령의 하이엔드 테크] 인텔 ‘회심의 일격’, High-NA EUV는 무엇일까?<1>
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팻 겔싱어 인텔 CEO의 발표. 세계 최초로 High-NA EUV 장비를 생산한다는 발표도 있었다./ 사진=인텔
ASML 본사 벽면에 대문짝만하게 써진 레일리의 식. /사진 출처=구글
레일리의 식.
노광기 속 렌즈. 0.33NA에서 0.55NA로 1.67배 렌즈 크기와 반사경을 키워 노광하면, 아래 그림처럼 폭이 좁아 구분이 애매했던 점들을 더 명확하게 구별할 수 있다./사진=서울경제
ASML의 High-NA 장비 콘셉트. /사진=ASML
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