반도체 EUV PR./사진 제공=인프리아 웹사이트
PR의 생애. 웨이퍼 위에 도포하고, 빛에 노출시키고, 고온에서 구워지고(Bake), 현상이 됩니다. /사진=MDPI
PR 구성 요소의 3대장. 폴리머, PAG, 베이스(퀜처). /자료=SK하이닉스 SEMICON2021 발표자료
ArF, KrF 광원에서 PR이 반응하는 방식과 EUV 광원 반응 방식(오른쪽)의 차이. 기존에는 빛이 PAG 알갱이를 바로 반응시켜 산(H+·수소이온)을 생성했다면, EUV는 광원이 폴리머(P+)를 때리면 2차전자(e-)가 발생해 PAG를 반응시킵니다. 자료=AMOLF
ArF 광원과 EUV의 광자 수 차이. EUV의 빛 알갱이가 14분의 1이나 적다보니, 회로 거칠기가 심화하는 것은 물론 PR이 반응하는 것도 쉽지 않습니다. PR 업체들은 적은 광자를 최대한 활용할 수 있는, 빛 흡수율이 좋은 PR 개발에 사활을 걸고 있습니다. /자료 출처=TEL
인프리아는 PR을 구성하는 알갱이 크기가 기존보다 5분의 1 작고, 촘촘한 고분자 구조로 EUV 빛을 4배 더 잘 흡수하면서 더 정밀한 EUV 회로 모양을 구현할 수 있다고 소개하고 있습니다./자료=인프리아
찹쌀떡이 엉겨붙지 않도록 겉에 묻히는 전분을 리간드, 찹쌀떡을 주석산화물이라고 생각하면 무기물 포토레지스트 이해가 수월합니다./사진=구글 캡처
JSR이 인프리아 지분 100%를 인수한다고 발표했습니다. 인프리아는 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등 내로라하는 반도체 칩 제조사들이 투자했던 전도유망한 PR 기업입니다.
일본 스미토모화학의 포토레지스트. /사진 제공=스미토모화학
연도별 벨기에 포토레지스트 수입액 현황입니다. 2019년부터 급격히 수입량이 증가하더니, 올해 8월까지는 작년 한해 수입 금액을 넘어선 400억 원 어치 PR이 국내로 들어오고 있습니다. 일본 JSR과 벨기에 반도체 연구 허브 IMEC의 합작법인 RMQC에서 만든 EUV PR이 2019년 일본 수출 규제 이후 국내로 본격 들어오는 것으로 추정됩니다. /자료=관세청
한국 주요 포토레지스트 공급망 정리./자료=업계 취합
