램테크놀러지의 초고순도 불화수소의 정제 방법 및 장치 특허 도면./사진=램테크놀러지 특허
램테크놀러지 당진 신공장 조감도./사진제공=램테크놀러지
램테크놀로지 특허 관련 가짜 보도자료.
특허에서는 이번 정제 기술이 비소(AsF3)를 15N 수준으로 낮출 수 있다고 강조하고 있다./자료=램테크놀러지 특허 자료
램테크놀러지는 특허 자료에서 연속 정제 공정을 통해 불화수소 내 원소별 불순물 함유량을 크게 줄였다고 주장했다. 노란 사각형이 실시예(공정 실험) 1 결과표. (단위:ppt)
