ASML “EUV 모듈 생산 차질”…삼성·SK하이닉스, 첨단공정 늦어지나
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ASML EUV 노광 장비 내부. /사진 제공=ASML
이재용(오른쪽 두 번째) 삼성전자 부회장이 지난 2020년 10월 ASML 네덜란드 본사를 방문해 ASML이 독점 생산하는 EUV 장비를 살펴보고 있다. /사진 제공=삼성전자
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