반도체 업계 '정부 주도 EUV 전용 연구 인프라 절실'

2022 차세대 리소그래피 학술대회 패널 토론 현장. 사진=서울경제 DB

노광 공정 생태계. 붉은색으로 표시된 노광 장비 분야는 100% 해외 의존, 노란색으로 표시된 광원, 웨이퍼, 포토레지스트, 블랭크마스크는 70% 이상을 외산 업체에 공급받고 있다. 자료=안기현 한국반도체산업협회 전무 발표자료

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