실린더에 담겨진 슬러리. 사진=캐봇 유튜브 영상 갈무리
1편 요약 내용을 한번 더 환기하고 2편 출발해봅시다. 사진제공=어플라이드 머티어리얼즈
CMP 슬러리 입자가 지나치게 각지면 꼭 필요한 부분까지 긁어내는 부작용이 생깁니다. 되도록이면 입자를 몽글몽글하게 만드는 것이 핵심 포인트입니다. 사진제공=서울대학교
흄드 방식 슬러리 입자 제조 방법. 말 그대로 기상에서 화염을 이용하는 방식입니다. 다른 제조 방식에 비해 입자 가장자리가 투박하고 뾰족하다는 위험 요소가 있습니다. 사진=구글, American Chemical Society
케이씨텍이 소개한 열처리(하소·Calcined)를 거친 콜로이덜 세리아(왼쪽)과 그렇지 않은 콜로이덜 슬러리 입자. 입자 크기의 균일도, 표면의 거칠기가 다소 차이가 있습니다. 사진제공=케이씨텍
후소의 콜로이덜 방식으로 만든 실리카 슬러리. 사진제공=후소
슬러리 시장 주요 회사들 정리. CMP 슬러리 업계에서 이들의 영향력은 상당한 것으로 전해집니다. 사진제공=각사
