표준연, 반도체 공정 실시간 모니터링할 비접촉식 유량센서 개발

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KRISS 유량측정팀. 왼쪽부터 임성혁 선임연구원, 이석환 선임연구원, 강웅 책임연구원. 사진제공=KRISS

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