[단독]EUV 노광기 생산 40→90대로…ASML '플랜 자위트' 순항

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네덜란드 펠트호번의 ASML 글로벌 본사에서 새로운 노광장비 제조 시설인 ‘5KM’이 건립되고 있다. 사진=강해령 기자
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