[이달의 과학기술인상]AI 머신러닝으로 반도체 공정속도·해상도 UP

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신영수(오른쪽) KAIST 전기및전자공학부 석좌교수가 연구팀원들과 반도체 포토리소그래피에 관해 의견을 나누고 있다. 사진 제공=한국연구재단
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