윤석열(오른쪽) 대통령과 피터 베닝크 ASML CEO. 사진제공=대통령
ASML 글로벌 본사 위치. 이재용 삼성전자 회장은 이미 수차례 이곳을 방문해 피터 베닝크 CEO를 만나고 노광 장비 수급 현황을 체크했습니다. 사진제공=삼성전자, 구글 맵
사진=강해령 기자, 조감도 출처=ASML
ASML 글로벌 본사 외곽 쪽의 플랜 자위트(Plan Zuid) 정지작업 현장. 사진촬영=강해령 기자, 조감도·지도 출처=ASML
사진촬영 = 강해령 기자, 조감도 출처=ASML, 지도 출처=구글 맵
ASML 연간 설비 투자액 추이. 모든 금액이 네덜란드 본사에 투입되는 것은 아니지만 업황에 상관없이 우상향하는 추세입니다. 자료=ASML 2022년 연간보고서
ASML High-NA 노광기. 사진제공=ASML
EUV 노광기 렌즈 크기가 0.33NA에서 0.55NA로 늘어나면 EUV를 웨이퍼로 훨씬 많이 전달할 수 있고, 그렇게 되면 해상력이 올라가서 더 선명하면서 가느다란 회로를 얻을 수 있습니다. 서울경제DB.
4000억원을 호가하게 될 하이-NA 장비와 ASML 임직원들. 자료출처=ASML 발표자료
ASML이 2024년 1분기부터 본격 운영하게 될 하이-NA 랩 전경. 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL) 등 유력 장비사들의 참여가 돋보이고 삼성전자, SK하이닉스, 인텔, TSMC, 마이크론 등 세계 최고의 칩 회사들을 맞이하겠다는 의지도 읽힙니다. 자료출처=ASML
ASML의 최신 하이-NA 로드맵. 사진제공=ASML
네덜란드에 본사를 둔 ASM의 ALD 장비. 사진제공=ASM
베시의 다이 어태치 장비. 사진제공=베시