이재용(왼쪽 세번째) 삼성전자 회장, 윤석열(왼쪽 다섯번째) 대통령, 최태원(맨 오른쪽) SK그룹 회장이 네덜란드 ASML 본사에 설치된 하이-NA 장비 앞에서 기념촬영을 하고 있습니다. 사진제공=대통령실
ASML의 High-NA EUV 장비. 대당 5000억원을 호가하고, 설치에도 꽤 오랜 시간이 걸립니다. 사진제공=ASML
High-NA EUV를 활용한 APMI 성능. 자료출처=삼성전자 민철기 박사 발표 슬라이드.
사진제공=ASML, 구글
기존 EUV APMI인 액티스 A100과 High-NA EUV용 APMI인 액티스 A300의 성능 비교. 자료출처=삼성전자 민철기 박사 발표 슬라이드.
