박준홍 램리서치코리아 대표가 23일 서울 중구 포시즌스 호텔에서 열린 크라이오 3.0 기자간담회에서 낸드플래시 기술 동향에 대해 설명하고 있습니다. 사진제공=램리서치코리아
극저온 식각 기술이 적용된 램리서치의 식각 장비 ‘밴텍스’. 사진제공=램리서치
식각 장비의 간략한 원리. 크라이오 3.0은 여기서 웨이퍼의 온도가 -63도까지 내려간 기술로 이해해주시면 좋습니다.
카본이 형성한 ‘패시베이션 레이어’가 없고, 공격수인 라디칼만이 존재하는 상남자 같은 식각 ‘크라이오 3.0’. 사진제공=램리서치
