기계연, 플라즈마 기반 이종구조 4인치 웨이퍼 개발
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한국기계연구원 김형우(왼쪽 첫번째) 선임연구원이 개발한 반도체 플라즈마 장비 앞에서 이종구조 샘플을 들고 있다. 사진제공=한국기계연구원
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