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CMTX, 램리서치 특허 분쟁 승소…‘소부장 옥죄기’ 막아냈다

글로벌 반도체 장비 공룡 ‘램리서치’ 국내 소부장 업체 대상 소송전 잇따라 ‘C-링’ 제조사 씨엠티엑스 최근 4건 승소 해외 대기업의 ‘韓 소부장 옥죄기’ 한계 봉착 씨엠티엑스 구미 본사(M캠퍼스) 전경. 씨엠티엑스 글로벌 반도체 장비 기업인 미국 램리서치가 국내 소부장(소재·부품·장비) 업체를 상대로 제기한 특허 공세가 법원에서 잇따라 무력화되고 있다. 반도체 실리콘 부품 전문기업 씨엠티엑스(388210)(CMTX)가 램리서치와의 특허 심판 4건에서 모두 승소하면서 글로벌 장비사가 자본력을 앞세워 국내 기업의 시장 진입을 막으려고 한 ‘특허 장벽’ 전략이 한계에 봉착했다는 분석이 나온다. 6일 업계에 따르면 특허심판원 제84부는 최근 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 ‘무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들(특허 제2201934호)’에 대한 권리범위확인 재판에서 “CMTX 제품은 램리서치의 특허 범위에 속하지 않는다”고 판결했다. 이번 심결로 씨엠티엑스는 램리서치와 진행 중인 4건의 특허 분쟁에서 모두 승소했다. 특허심판원은 모든 사건에서 씨엠티엑스의 손을 들어주며 씨엠티엑스 제품이 해당 특허 기술을 적용한 것이 아니라고 결론지었다. 쟁점이 된 제품은 반도체 식각 공정 중 플라즈마를 챔버 안에 가두는 ‘C-링(Confinement Ring)’이다. 램리서치는 2024년 10월 씨엠티엑스 C-링이 자사 특허를 침해했다며 서울중앙지방법원에 손해배상청구 소송을 제기했다. 하지만 특허심판원은 램리서치의 해당 특허가 일본 공개 특허를 단순 결합한 기술에 불과해 통상 다른 동종 기업도 쉽게 발명할 수 있다고 판단했다. 이에 진보성이 인정되지 않는다며 특허를 무효로 판단했다. 장비 공룡의 이중적 면모…韓 시장 수익 확대 속 소부장 압박 업계에서는 이번 소송을 두고 대기업이 자본력과 특허를 앞세워 중소기업을 압박하는 전형적인 사례로 보고 있다. 램리서치는 C-링에 대한 실용신안권을 보유하고 있었으나 2021년 6월 존속기간이 만료됐다. 이후 국내 업체들이 국산화 및 성능 개선에 속도를 내자 램리서치는 인접 특허를 동원해 소송전에 나섰다. 실제로 램리서치는 2022년 용인 코리아테크놀로지센터(KTC) 설립 이후 국내 특허 등록을 급격히 늘렸다. 2020년 68건에 불과했던 등록 건수는 2025년 361건으로 5년 사이 5배 이상 증가했다. 소부장 업계에서는 이러한 특허 확대가 기술 혁신의 결과라기보다 국내 소부장 기업들의 시장 진입을 견제하기 위한 소송 기반 확보 차원이라는 관측이 나오고 있다. 문제는 램리서치의 ‘소송 장기화’ 전략이다. 램리서치는 1심 격인 특허심판원 패소 이후에도 즉각 심결취소소송을 제기하며 법정 공방을 장기화하고 있다. 거대 자본을 바탕으로 소송을 이어가면 자본력이 부족한 국내 중소·중견기업은 기술 개발과 판로 개척에 막대한 차질을 빚게 된다. 씨엠티엑스 관계자는 “글로벌 반도체 장비 대기업이 마치 특허 사냥꾼처럼 국내 소재·부품·장비 기업의 기술 개발과 시장 진입을 부당하게 막고자 하는 행태에 당당히 맞서 의미 있는 성과를 거뒀다”며 “향후에도 특허 소송에 적극 대응하면서 차별화된 기술 개발을 지속해 글로벌 반도체 소재부품 공급망에서 입지를 강화해 나갈 것”이라고 밝혔다.