신성FA, 반도체 공정물류장비 OHT신제품 개발

신성FA는 반도체 공정 물류의 최첨단 장비인 OHT(Overhead Hoist Transport) 개발해 이미 하이닉스와 양산 인증을 완료하고 20억 규모의 첫 판매계약을 체결했다고 3일 밝혔다. OHT는 반도체 자동 반송 장비 중 가장 난이도가 높고 고부가가치의 장비로써 반도체 Fab. 천정에 고정되어 있는 선로를 따라 수백대의 Vehicle이 이동하며 공정간 반송을 담당한다. 또한 신성FA의 OHT는 실시간 경로 관리를 담당하는 중앙 제어기술과 사고방지를 위한 다중 안전 설비관리 기술 등 첨단 기술이 적용되어 보다 안전하고 신속하게 공정간 반송을 담당할 수 있다. 여기에 210m/s의 세계 최고 속도로 신속한 반송이 가능하고 신성FA의 독자적인 액티브슬라이드(active slide) 기술을 사용해 천정에 고정된 임시 저장 공간과의 물류 이동이 쉬운 특징도 있다. 신성FA는 LCD 자동 물류의 경험을 바탕으로 지난 2007년 상반기부터 개발에 착수해 3년 4개월 만에 제품의 신뢰성을 검증 받고 정식 판매계약에 성공했다. 검증을 위해 데모라인을 구축하고 3차에 걸친 제품 업그레이드와 10회 이상의 고객 시연회를 실시하여 고객으로부터 제품의 안정성을 평가 받아왔으며, ‘천정 주행차 시스템’의 명칭으로 특허출원이 완료된 상태이다. 제품의 신뢰성 검증을 위해 하이닉스와 상생프로젝트를 지난 8개월간 치밀하게 수행하였고, 그 결과2010년 10월 29일에 한국 반도체 산업 협회와 국내 반도체 3사(삼성전자, 하이닉스, 동부 하이텍)가 수여하는 양산 인증서를 획득했다. 신성FA 관계자는 “이번 공급계약은 양산검증라인으로 20억 규모에 불과했지만, 신규 반도체Fab. 건설시 최소 400억 이상 규모의 장비공급이 가능하다”며 “앞으로도 지속적인 연구개발을 통해 사업다각화 및 매출증대에 노력을 할 것”이라고 밝혔다.

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