테스, 기판 반송 장치 특허 취득

입력 2010.07.01 15:19:14 수정 2010.07.01 15:19:14
테스는 1일 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송 장치에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다.

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