반도체 제조공정기간과 원가를 획기적으로 줄일 수 있는 기술이 국내 연구진에 의해 세계 처음으로 개발됐다. 한국전자통신연구원(ETRI)은 기존의 반도체 소자 제조공정을 대폭 단순화해 단가와 제작기간을 줄이는 기술인 `쇼트키 트랜지스터(Schottky Transistor)`를 세계 최초로 개발했다고 18일 밝혔다. 쇼트키 트랜지스터는 트랜지스터의 채널 영역에 복잡한 불순물층 형성 공정이 불필요해져서 생산 공정을 단순화할 수 있는 게 특징이라고 ETRI측은 설명했다. 이에 따라 반도체 제작 원가가 20% 이상 절감되고 칩 제작시간도 30% 정도 줄일 수 있다. 특히 이 기술은 기존의 장비를 그대로 활용할 수 있어 신규 투자를 최소화할 수 있다는 것이 ETRI측의 설명이다. ETRI는 이와 함께 반도체 소자의 작동특성 및 성능을 예측하고 제작된 소자로부터 설계변수를 추출해 낼 수 있는 시뮬레이션 툴도 함께 개발했다고 밝혔다. 이성재 ETRI 나노전자소자팀장은 “이번 기술 개발로 상대적으로 취약한 국내 비메모리 반도체 산업에 큰 도움이 될 것”이라며 “특히 이번 원천기술 확보로 기술료 수입도 예상된다”고 말했다. <정두환기자 dhchung@sed.co.kr>