반도체 화학재료업체 디엔에프는 삼성전자로 반도체 DPT(Double Patterning Technology) 공정 재료 납품을 시작했다고 23일 밝혔다.

차세대 리소그래피 장비 개발의 한계로 30나노 이하 패턴 구현이 어려워짐에 따라, 삼성전자는 미세패턴 구현을 위해 Sa-DPT(Self-aligned DPT) 공정을 개발하였다. 이에 발맞춰 디엔에프는 DPT 재료 국산화에 성공해, 최근 1년여의 평가 기간을 거쳐 4월부터 납품을 시작하게 됐다.

그간 미국의 Air Product가 삼성전자 내 DPT 시장을 독점 해왔으나, 이번 납품을 계기로 디엔에프는 점차 시장점유를 늘려나갈 예정이다. 올해 매출 100억원, 내년에는 200억원 이상의 매출을 예상하고 있다.

디엔에프 관계자는 "최근 반도체 미세공정이 가속화되면서 DPT 재료 수요가 급증하고 있다"며 "DPT 재료의 수요는 향후 5년간 꾸준히 증가할 것으로 예상하며 디엔에프의 매출성장 기반에 크게 일조할 것"이라고 설명했다.