반도체장비 업체인 에프에스티(대표 장명식)가 삼성전자와 칠러(chiller) 공급계약을 맺었다고 29일 밝혔다. 칠러는 반도체 공정용 온도조절장치로 웨이퍼를 식각할 때 발생하는 열을 제어해 주는 기능을 한다. 이번에 공급하는 칠러는 300mm웨이퍼 팹(Fab)에 적용되는 것으로 200mm 공정용에 비해 냉각 및 유량, 온도제어 능력을 향상시켜 고정밀 공정에 적합하다. 에프에스티는 이 분야에서 국내 처음으로 칠러 CE인증과 Semi-S2를 획득했고, 열전소자 칠러(Thermoeletric)와 콤프레셔 타입(Compressure type) 칠러 등을 생산하고 있다. 이번 수주는 지난해 총매출의 15% 정도에 해당하며 올해 이 회사는 260억원의 매출을 겨냥하고 있다. 한편 에프에스티는 반도체 제조공정에 사용되는 포토마스크 보호용 펠리클 부문에서국내시장의 80%를 차지하고 있다. <서정명기자 vicsjm@sed.co.kr>