테스, 기판가열장치 및 가열방법 특허 취득

입력 2010.10.18 14:12:38 수정 2010.10.18 14:12:38
테스는 18일 기판가열장치 및 기판가열방법에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.

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