일양약품(대표 정도언)은 64메가 D램 및 256메가 D램급 이상에 적용되는 광산발생제의 상품화에 성공하고 10월초부터 양산에 돌입한다고 20일 밝혔다.광산발생제란 1기가 ~4기가급용 반도체를 생산하기 위한 광원인 KRF엑시머 레이저용 화학증폭형 레지스트를 생산하는 데 사용되는 핵심원료로 빛을 쬐면 반도체 회로가 새겨지도록 유도하는 물질이다. 일양은 그동안 반도체 핵심원료이면서도 100% 수입에 의존하던 광산발생제를 양산하게 됨으로써 반도체 핵심기술의 국산화를 앞당길 수 있을 것으로 기대하고 있다. 특히 해외레지스트업계의 품질평가 결과, 성능이 기존 제품에 비해 뛰어난 것으로 평가됐고 금년 하반기부터 메모리 반도체의 주력품목이 256메가D램으로 세대 교체가 이루어질 전망이어서 국내 반도체 업계는 물론 해외 굴지의 레지스트 업계들로부터 공급요청이 잇따르고 있다고 회사측은 설명했다. 또 일양은 현재 이제품의 대규모 양산 체제 설비를 완료한데 이어 세계적인 전자재료 메이커인 미국 및 일본의 SHIPLEY社와 공급협약을 체결키로 했다고 설명했다. 한편 일양약품 중앙연구소의 한관계자는 『이외에도 1기가D램에서 사용되는 0.15M이하의 초 미세공정에 필요한 ARF화학 증폭형 레지스트 핵심 원재료도 이미 개발 완료했다』고 말하고 『일부 품목에 대해서는 해외 레지스트 업체에서 테스트도 마친 상태』라고 밝혔다. 송영규기자SKONG@SED.CO.KR