주성엔지니어링, 샤워헤드 어셈블리 특허권 취득

입력 2010.06.17 14:52:37 수정 2010.06.17 14:52:37
주성엔지니어링은 액정표시장치용 플라즈마 강화 화학기상증착 장치의 샤워헤드 어셈블리에 대한 특허권을 취득했다고 17일 공시했다. 이번 특허는 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력을 강화하는 데 활용될 예정이라고 회사 측은 기대했다.

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