테스, 태양전지 장비 가스공급 어셈블리 특허 취득

입력 2010.09.02 13:25:45 수정 2010.09.02 13:25:45
테스는 태양전지 제조장비에 적용되는 가스공급 어셈블리에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다. 이번 특허는 열팽창 계수가 각각 다른 샤워헤드판과 절연체에 미끄럼을 유발하는 슬립부재를 구비해 마찰을 방지하고 절연체의 파손을 막는 방법에 관한 것이다.

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