반도체용 가스공급장치 생산업체인 ㈜아토(대표 오순봉)가 국내최초로 순수독자기술로 초고순도 가스정제장치를 개발하고 양산에 들어간다.㈜아토가 개발한 가스정제기는 가스중에 포함되어 있는 불순물을 거의 완벽하게(불순물 농도 1PPB이하) 제거하여 초고순도로 향상시키는 역할을 하는 장치다. 반도체웨이퍼 등에 있는 불순물을 가스를 통해 제거하는데 이때 사용하는 가스(캐리어 가스 및 공정용 가스)의 순도가 높지 않을 경우 제품의 순도에 나쁜 영향을 끼치게 된다. 가스정제기는 이때 사용하는 가스의 순도를 높여주는 역할을 한다. 그동안 관련업계에서는 외국제품을 수입해 사용하거나 핵심부품을 들여와 조립하는 수준에 그쳤다. 이번에 아토에서 완전국산화에 성공함으로써 수천만달러에 이르는 수입대체 효과를 거둘 수 있을 것으로 보인다. 업계에서는 현재 가스정제장치의 국내시장규모를 3,000만달러 정도로 보고 있으나 향후 반도체의 고집적도화가 진행되고 TFT-LCD(박막액정표시장치), 광섬유 등 관련산업이 성장할 경우 시장규모가 기하급수적으로 커질것으로 예상하고 있다. 특히 반도체, TFT-LCD 등 우리나라가 세계최고 수준의 경쟁력을 가진 제품의 제조시 공정수율에 영향을 미치는 특수가스의 순도를 99.999999% 이상의 초고순도로 정제가 가능하게 됨으로써 국내제품의 품질향상에도 기여하게 됐다고 아토 관계자는 설명했다. 아토관계자는 『이미 주요 반도체생산업체인 삼성에서 인증을 받은 상태』라고 말하고 『외국의 관련업체와도 이 장치의 공급을 협의중』이라고 말했다. (0345)499-4328 정맹호 기자 MHJEONG@SED.CO.KR