반도체 및 액정표시장치(LCD)용 특수가스 제조 세계 1위 기업인 SK머티리얼즈가 경북 영주에 1,508억원을 추가 투자한다.
경북도·영주시는 19일 최근 SK머티리얼즈와 투자관련 양해각서를 체결했다고 밝혔다. 2,500톤 규모의 삼불화질소(NF3) 제조공장 증설, 일본 쇼와덴코사와 합작법인 설립을 통한 식각가스 제조공장을 건설한다. 식각가스는 반도체의 식각 공정에 사용되는 특수가스다. SK머티리얼즈는 지난 2001년 국내 최초로 NF3를 생산해 국산화에 성공했고, 세계 최고의 생산설비(연간 9,200MT)를 보유해 세계시장에서 40%의 점유율을 기록하고 있다. /손성락기자 ssr@sedaily.com