11일 장비업계에 따르면 최근 삼성전자는 협력사들에 공문을 보내 5월 말까지 평택 반도체 공장의 3D낸드 생산에 필요한 장비 납품을 완료해달라고 요청했다. 지난 2015년 첫 삽을 뜬 평택 반도체 공장은 내외부 공사를 마친 상태로 반도체 생산라인을 본격 가동하기에 앞서 반도체 메인 장비 및 서브 장비를 완벽하게 갖추기 위한 마무리 작업에 돌입했다. 삼성전자는 현재 공장 내 장비가 놓일 위치를 모두 정해놓고 협력사의 납품 장비가 들어오는 대로 설치 작업을 진행하고 있다. 한 장비업계 핵심 관계자는 “웨이퍼 위에 박막을 입히는 증착장비와 표면을 가공하는 식각장비, 가스를 정화하는 서브 장비 등을 평택 공장에 넣는 작업이 5월 말까지 이뤄진다”며 “장비 설치 후 이를 연결하는 배관 시공이 완료된 후 7월부터 정상 가동이 시작된다”고 밝혔다.
평택 공장이 본격 가동되면 삼성전자가 세계 최초로 개발 및 양산에 성공한 4세대(64단) 3D낸드의 생산량이 대폭 늘어나게 된다. 삼성전자 낸드 생산능력은 웨이퍼 투입 기준 월 45만장 수준이며 이의 절반 이상이 3D낸드로 알려졌다. 반도체 업계 관계자는 “평택 공장의 규모를 봤을 때 가동률이 본궤도에 이르면 월 10만장 정도의 생산이 가능할 것”이라고 말했다. /신희철·김현진기자 hcshin@sedaily.com