테스, 플라즈마 활용 탄소막 증착 방법 관련 특허권 취득

입력 2018.03.06 16:07:24 수정 2018.03.06 16:07:24
테스(095610)는 ‘플라즈마를 이용한 비정질 탄소막의 증착 방법’ 관련 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.


회사 측은 “반도체 장비에 적용하고, R&D 활동에도 응용할 것”이라고 밝혔다.

/박시진기자 see1205@sedaily.com


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