테스, 플라즈마 처리 장치 특허권 취득

입력 2018.10.12 13:38:17 수정 2018.10.12 13:38:17
반도체 제조용 기계 제조업체 테스(095610)가 플라스마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다. /박경훈기자 socool@sedaily.com


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