29일 정부와 업계에 따르면 일본 경제산업성은 이날 고순도 불화수소 수출 1건을 승인했다. 고순도 불화수소는 반도체 기판인 실리콘웨이퍼에 그려진 회로도에 따라 기판을 깎아내는 식각 공정에 쓰이는 소재로 일본 정부가 지난달 4일 우리나라에 경제보복을 하며 수출을 규제한 품목 중 하나다.
당시 일본 정부는 △고순도 불화수소 △플루오린 폴리이미드 △극자외선 파운드리용 포토레지스트(감광재) 등 3개 품목을 개별허가 대상으로 돌린 바 있다. 일본 정부는 이 중 포토레지스트만 지난 7일과 19일 수출을 허가했다.
/김우보기자 ubo@sedaily.com