‘12인치 Batch식 제조설비’는 다중 챔버(Multiple chamber)를 활용한 그래핀 박막 증착 가능 설비로, 단단한(Rigid) 평면 그래핀 제조를 목표로 설계된 장치다. 특히 12인치 Batch식 제조설비는 12인치 이하 다양한 사이즈 제작이 가능하며, 다중 챔버를 활용한다는 점에서 기존 설비보다 효율성이 높은 것이 특징이다.
회사 관계자는 “12인치 Batch식 그래핀 제조설비를 갖추게 됨으로써 플렉시블 유연전극 제조를 위한 연속식 제조장치와 리지드한 평면 그래핀을 제조할 수 있는 생산 체제도 구축하게 됐다”며 “대량 양산기술 개발을 토대로 전방시장 매출처 확보 및 사업화에 역량을 집중할 것”이라고 말했다. /wown93@sedaily.com