SK머티리얼즈(036490)가 초고순도(99.999%) 불화수소 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 반도체 제조에 쓰이는 초고순도 불화수소 가스는 해외 의존도가 100%에 달해 지난해 일본 수출규제 당시 국내 기업에 비상이 걸리게 한 제품이다.

SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 뒤 경북 영주 공장에 15톤 규모의 생산시설을 건설했다. 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올리는 것을 목표로 하고 있다.

SK머티리얼즈는 일본 등 해외 의존도가 높은 소재를 중심으로 국산화에 앞장서고 있다. 또 다른 일본 수출규제 품목이었던 포토레지스트(감광액) 개발에도 나섰다. 최근에는 하드마스크(SOC)와 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 개발하고 있다.


반도체 웨이퍼에 포토레지스트를 바르고 노광장비로 빛을 쏘면 화학적 성질이 변하면서 회로 패턴이 새겨진다. 포토레지스트 보조재인 SOC는 패턴이 무너지지 않게 보호해준다. ArF 포토레지스트는 미세공정에 쓰이는 ArF 노광장비용 제품이다.

특히 ArF 포토레지스트는 해외 의존도가 90%에 달하는 고부가 제품이다. SK머티리얼즈 관계자는 “제품 양산이 본격화하면 국내 반도체 제조사들에 안정적 공급이 가능할 것”이라며 “2022년부터 연 5만갤런 규모의 생산을 목표로 하고 있다”고 설명했다.

SK실트론도 지난해 미국 듀폰으로부터 전기차 필수 소재인 전력 반도체용 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 사업을 인수해 국산화에 나선 바 있다. SiC 웨이퍼는 미국·유럽 등 소수 업체가 과점한 시장이다.

이와 함께 SK그룹은 소재 국산화 과정에서 확보한 역량을 중소기업 상생협력으로 연결해 국내 반도체 생태계를 강화하고 있다. SK하이닉스(000660)는 4,000억원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다.

SK그룹 관계자는 “투자비나 전문인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 발전하도록 도울 것”이라며 “상생협력으로 국내 반도체 산업 경쟁력을 높이고 고용 창출에도 기여하겠다”고 말했다.
/박효정기자 jpark@sedaily.com