극자외선용 (EUV) 포토레지스트를 생산하는 일본 기업 TOK가 국내에서 생산을 시작한 것으로 알려졌다. EUV용 포토레지스트는 일본 정부가 지난해 7월부터 수출을 규제한 품목 중 하나다.
1일 산업통상자원부에 따르면 TOK 측은 국내 한 매체에 TOK그룹 티오케이첨단재료주식회사(한국법인명)에서 EUV용 포토레지스트를 제조하고 있으며, 제품을 적시에 제공할 수 있다는 내용의 서면을 보냈다. TOK 한국법인에서 생산한 EUV용 포토레지스트는 삼성전자 반도체 공정 적용 테스트가 진행되고 있는 것으로 전해졌다.
EUV용 포토레지스트는 삼성전자가 비메모리 라인에서 사용하는 소재다. SK하이닉스의 경우 D램 등 메모리 반도체 사업이 주력인 점을 감안하다면 삼성전자가 일본 기업이 한국 현지에서 생산한 EUV 포토레지스트에 관심을 보일 것으로 보인다.
/세종=김우보기자 ubo@sedaily.com