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반도체 소재 국산화 기업 램테크놀러지(171010)는 초고순도 불화수소 생산과 관련된 특허를 지난달 등록했다고 23일 밝혔다. 기존 방식의 문제점을 개선해 높은 순도의 초고순도 불화수소를 정제하고 이를 활용해 반도체급 불산 제품을 생산할 수 있는 것이 특징이다.
반도체 공정용 불산의 불순물은 반도체 공정에 영향을 미치므로 미량의 불순물까지 제거해야 한다. 회사는 불화수소 정제를 통해 반도체용 불산 제품의 단일 금속 불순물 농도를 1ppt 이하로 목표로 세웠다.
램테크놀러지는 현재 당진 신규 공장 증설을 추진하고 있으며 증설이 완료되면 국내 반도체용 불산 생산 가속화 및 국내 시장 점유율을 높일 수 있을 것으로 기대하고 있다.