ASML이 독일 베를린 공장 화재로 극자외선(EUV) 노광 장비 생산에 차질이 있을 것이라고 공식 인정했다. EUV 노광 장비는 ASML이 세계에서 단독으로 공급하는 고가의 반도체 제조 장비다. 삼성전자와 SK하이닉스·인텔·TSMC 등 글로벌 반도체 제조사들이 EUV 장비 확보전을 치열하게 벌이고 있는 가운데 이번 화재가 향후 EUV 시장에 어떤 영향을 미칠지 주목된다.

9일 ASML은 지난 3일(현지 시간) 회사의 독일 공장에서 발생한 화재가 EUV 장비 생산에 차질을 줄 것이라는 공식 입장을 발표했다. 회사 측은 “이번 화재가 EUV 시스템 모듈 가운데 하나인 ‘웨이퍼 클램프’ 생산에 영향을 줄 것으로 보인다”며 “고객사에 미칠 영향을 최소화하는 방안과 공장 정상화 계획을 마련하고 있다”고 설명했다.

ASML은 사건 발생 당일인 3일에는 “현재로서는 입장을 밝히기가 조심스럽다”며 구체적인 언급을 피했으나 불과 나흘 만에 EUV 장비 생산 차질을 인정한 셈이다.

회사는 이번 발표에서 범용 노광 시스템인 심자외선(DUV) 장비용 부품 생산 라인은 다시 가동하고 있다고 밝혔다. 피해를 입은 것은 맞지만 관련 부품 출하와 매출에는 큰 영향을 받지 않았다는 설명이다.

ASML 독일 베를린 공장 화재는 60평 남짓한 공간에서 일어났다. 이곳은 노광 공정을 진행할 때 웨이퍼를 고정시키는 웨이퍼 클램프 모듈을 만드는 곳이다. 반도체 업계는 ASML의 피해 상황을 주시하고 있다. 반도체 장비는 하나의 부품이라도 없으면 정상 작동이 힘든 데다 EUV 장비 확보는 미래 경쟁력을 좌우하는 결정적 요소이기 때문이다. EUV 노광기는 첨단 반도체를 생산하기 위한 필수 장비로 ASML이 세계에서 독점으로 생산한다.

ASML의 연간 EUV 장비 생산량은 30~40대 수준으로 삼성전자·SK하이닉스·인텔·TSMC 등 첨단 반도체 라인을 운영 중인 회사들의 수요를 맞추기에는 턱없이 부족한 양이다. 장비 한 대당 1,500억 원이 훌쩍 넘어가는 가격에도 업체들 간 치열한 장비 확보전이 벌어지고 있다. 2020년 10월 이재용 삼성전자 부회장이 ASML 본사가 있는 네덜란드에 직접 방문해 삼성전자와 ASML 간 협력을 논의하기도 했다.

따라서 국내 업계에서는 이번 화재가 삼성전자와 SK하이닉스의 반도체 라인 구축 계획에 어떤 영향을 미칠지에 대해 촉각을 세우고 있다. 삼성전자는 올 상반기 세계에서 처음으로 3㎚(나노미터·10억분의 1m) 칩 파운드리(위탁 생산) 라인 운영을 앞두고 있다. 또 메모리 반도체 분야에서는 EUV 공정을 활용한 14나노 D램을 올해 본격적으로 늘려갈 계획이다. 지난해 말 ASML의 새로운 노광 장비인 ‘NXE:3600D’를 화성 사업장 EUV 라인 V1에 들인 후 올해 10대를 훌쩍 넘는 EUV 장비 반입을 계획하고 있는 것으로 알려진다.

SK하이닉스도 지난해 EUV를 활용한 10나노급 4세대 D램을 신규 팹 M16에서 양산한 후 점진적으로 EUV 생산 라인을 확대할 계획이다. SK하이닉스는 지난해 초 ASML과 오는 2025년까지 4조 7,500억 원 규모의 EUV 장비 장기 계약을 맺은 바 있다.