나노종합기술원은 세계적 장비기업인 ASML코리아와 반도체 핵심 노광장비 부품 신뢰성 테스트를 위한 협력 프로젝트를 추진한다고 21일 밝혔다.

노광장비 ArF Immersion Scanner은 전세계적으로 40나노 이하 반도체(20나노급 메모리반도체 등) 개발과 생산을 위해 많이 활용되고 있는 장비로 ASML는 한국뿐만 아니라 전 세계적으로 안정적인 장비 유지보수 서비스 제공을 위한 부품 테스트베드 협력기관이 필요한 상황이다.

ASML코리아는 나노종기원이 보유한 ArF Immersion Scanner를 활용해 핵심 장비부품의 신뢰성 검증 가능성을 확인하고 나노종기원에 부품 개발 협력을 요청했다.

나노종기원은 노광장비가 국내 반도체 대기업(삼성전자, SK하이닉스반도체)에서 반도체 생산을 위해 활용되는 핵심장비로 ASML코리아(RDC)의 부품 신뢰성 검증 지원을 통해 국내 반도체 산업에 기여할 수 있다고 판단하고 양 기관간 상호 협력을 추진하게 됐다.

나노종기원이 노광장비 세계 최고 기업인 ASML과 협력해 반도체 부품 신뢰성 실증평가를 지원할 수 있는 세계적 수준의 반도체 테스트베드로 인정받고 있다는 의미다.

ASML코리아가 전 세계적으로 수리요청이 있는 장비부품에 대한 수리를 완료하고 이에 대한 정상 작동여부를 판단하기 위해 나노종기원이 보유한 장비를 활용하여 신뢰성 검증을 진행하게 된다.

이번에 검증한 부품은 반도체 노광공정 장비의 웨이퍼 스테이지 작동을 관리하는 컴퓨터 부품(SIOB)으로 ASML코리아가 개발한 테스트 기기의 신뢰성을 높이기 위해 실증 평가 검증 결과 비교, 수명성 테스트 등을 통해 부품 신뢰성 검증과 정상 작동을 확인했다.

양 기관은 이번 협력성과를 통해 기술원 보유 300㎜(12인치) 반도체 장비와 공정기술을 활용한 다양한 장비부품의 검증 및 개발 가능성을 확인했고 향후 지속적으로 협력하기로 했다.

ASML코리아 이우경 대표는 “나노종합기술원이 보유한 장비를 사용해 실제 공정환경과 유사한 환경에서 테스트 함으로써 ASML코리아 부품의 기술적 신뢰성을 한 층 더 높일 수 있게 됐다”며 “앞으로도 지속적인 협업을 통해 ASML코리아가 자체 개발한 부품을 검증해 국내 반도체 기업이 보유한 ASML 장비의 신속하고 정확한 유지보수를 지원할 계획”이라고 밝혔다.

나노종기원 이조원 원장은 “나노종합기술원이 반도체 소부장 개발을 위한 테스트베드로서의 핵심기능을 세계적으로 인정받은 것”이라며 “향후 국내외 반도체 소부장 제품개발 지원 역할을 강화해 나가겠다”고 밝혔다.