에프에스티(036810)가 국내 반도체 제조사에 극자외선(EUV) 펠리클 탈·부착 장비와 검사 시스템을 국내에서 처음으로 공급한다고 17일 밝혔다.

EUV 펠리클 탈부착 장비는 반도체 회로 모양이 새겨진 마스크를 보호하는 펠리클을 자동으로 탈부착하는 설비다. 펠리클 자동 탈부착으로 EUV 공정에서 생산성과 안정성을 동시에 향상시킬 수 있다.

EUV 펠리클 검사 장비는 펠리클 구성 요소의 이물질을 검사해주는 장비다. 칩 업체는 물론 펠리클 제조 회사에서도 활용할 수 있다.

이 제품군은 국내외 반도체 제조사들이 EUV 공정을 확대함에 따라 더욱 각광받을 것으로 예상된다. 에프에스티는 이번 수주를 발판으로 기존 불화아르곤(ArF) 노광 공정용 펠리클 사업을 넘어 신사업 역량을 한층 업그레이드하겠다는 포부다.

에프에스티 관계자는 “이번 장비 양산은 현재 회사가 개발 중인 EUV 펠리클의 양산성 확보에도 기여할 수 있다”고 설명했다. 또 “향후 주요 반도체 제조사들의 EUV 공정이 활성화되면 관련 장비 수요가 크게 늘어날 것”이라고 덧붙였다.