반도체 장비 전문기업 예스티(122640)는 고압 어닐링장비 특허 분쟁과 관련해 경쟁사의 3개 특허권에 대해 추가 무효심판 1건과 권리범위확인심판 2건을 각각 청구했다고 19일 밝혔다.


예스티는 경쟁사가 보유한 고압 어닐링 장비 특허권이 특허법에서 정한 신규성 및 진보성 요건을 갖추지 못했다고 판단해 신규로 무효심판을 제기했다. 이와 함께 예스티는 자체 개발 중인 고압 어닐링 장비가 경쟁사의 특허와 무관하다는 사실을 입증하기 위해 권리범위확인심판도 청구했다.

예스티 관계자는 “이번 무효심판과 권리범위확인심판은 현재 진행 중인 특허소송 외에, 경쟁사가 추가적인 소송제기를 통해 특허분쟁을 확대 및 장기화하려는 의도를 사전에 차단하기 위한 것”이라며 “선제적 대응조치뿐 아니라 기존 특허소송도 공격적인 전략으로 분쟁을 조속히 종결짓겠다”고 말했다.

예스티는 지난 9월 국내 한 반도체 장비 기업의 특허소송 제기로, 고압 어닐링 장비에 대한 특허분쟁을 진행하고 있다. 예스티는 지난달 분쟁의 기초가 된 경쟁사의 특허에 대해 무효심판을 청구하는 등 특허소송에 적극적으로 대응 중이다.

예스티는 지난 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해 왔다. 자체 고온·고압 기술을 고도화했을 뿐 아니라 여러 건의 특허를 등록해 진입장벽도 구축했다. 올해 4월에는 관련 기술력을 인정받아 차세대 고압 어닐링 장비 개발과 관련한 국책과제에 경쟁사를 제치고 단독으로 선정됐다.

예스티는 글로벌 반도체 기업들과 고압 어닐링 장비에 대한 상용화 및 양산 테스트에 속도를 내고 있다. 경쟁사와의 특허분쟁에도 불구하고 고객사와 상용화를 전제로 한 테스트가 차질없이 진행되고 있다는 게 회사 측의 설명이다.

예스티 관계자는 “개발 단계부터 특허분쟁을 예상하고 충분한 검토를 거쳤기 때문에 특허분쟁에서 승소를 자신한다”라며 “고객사와의 상용화 테스트에 회사의 역량을 집중해 양산 시기를 최대한 앞당기겠다”라고 강조했다.