반도체의 결함이나 다리의 균열 등을 진단하는 초음파 검사장비가 국내에서 개발됐다.한국표준과학연구원 김병극 박사팀은 그동안 전량 수입하던 비파괴검사용 초음파 탐촉자와 초음파 센서를 최근 개발했다고 16일 발표했다. 또 표면파를 한 점에 모으는 「표면파 집적 초음파 센서」기술도 새로 개발해 미국 특허를 받았다.
초음파 탐촉자와 센서는 초음파를 이용해 재료에 손상을 주지 않고 내부나 겉에 있는 결함을 측정하는 비파괴 검사의 핵심 부품으로 반도체·항공·조선 산업 등의 품질 관리나 다리·발전소 등의 안전진단에 쓰이고 있다.
특히 미국특허를 얻은 「표면파 집적초음파 센서」기술은 표면을 전파하는 초음파를 한 점에 모으는 신기술로, 재료의 표면에 존재하는 0.1㎜ 정도의 미세한 균열도 찾아낼 수 있다. 이는 기존 기술과 비교해 정밀도가 10배 이상 높은 수준이다. 기존에는 4~5㎜ 정도의 균열을 찾아내는 것이 한계였다.
이들 제품은 지금까지 전량 수입해 왔으며 이번 국산화로 연간 40억원의 수입대체 효과가 기대된다.
金박사는 『앞으로 철강·세라믹·반도체 제품의 미세 결함을 찾아내 이들 제품의 품질 개선에 크게 기여할 것』이라고 기대했다. 金박사는 초음파 센서 전문기업인 「하기소닉」을 창업해 이 기술을 상용화할 계획이다.
이 기술은 지난해 세계적인 초음파학술지 「울트라소닉스」에 논문이 실려 주목을 받은 바 있다. (042)868-5339 /김상연 기자 DREAM@SED.CO.KR
