다채널 분광타원계측기는 반도체, 디스플레이, 태양광 박막소자 분야에서 박막 두께를 실시간으로 측정하는 장비로 제품생산 및 품질검사에 필수적 장비다.
이번에 개발된 다채널 분광타원계측기는 세계 최고 수준인 0.002nm의 정밀도로 박막의 두께를 측정할 수 있으며 박막에 직접 접촉하지 않는 비파괴방식이 적용됐다.
기존 분광타원계측기의 경우 2개의 편광자를 사용했지만 연구팀은 빛의 파동방향을 제어하는 한 개의 편광자를 추가해 광원부와 광감지부에서 발생할 수 있는 오차 요인을 최소화했다.
제갈원 박사는 “국내 반도체 업계에서는 생산 라인당 사용되는 20대의 분광타원계측기를 전량수입하고 있으며 설치, 유지 보수 등을 이유로 연간 1,000억 원의 비용을 해외에 지출하고 있다”며 “관련 장비는 바로 산업체에서 활용할 수 있도록 높은 완성도를 보유하고 있다”고 말했다.
