미국을 방문 중인 경기도 투자유치 대표단(단장 김문수 도지사)은 27일(한국 시간) 일리노이주 오로라소재 반도체 원판 연마제 제조기업인 캐봇 마이크로일렉트로닉스사를 방문, 도내 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정용 연마제 제조거점 및 연구시설 설립에 대한 투자협약을 체결했다.
이에 따라 캐봇 마이크로일렉트로닉스사는 평택시 소재 오성산업단지 내에 1,000만 달러를 투자해서 6,600㎡ 규모의 반도체 CMP 슬러리(반도체 원판 평탄화 작업용 액체) 회사를 설립한다.
이 회사는 CMP 공정용 무기화합물 공급 세계 1위 기업으로 최근 반도체 디자이스의 고집적화에 따라 사용이 확산되고 있는 세리아 연마제 분야에 뛰어난 기술력을 갖고 있다.
이번 투자를 통해 이 회사는 한국 내 고객사인 삼성전자 및 하이닉스 반도체의 생산 공정에 필요한 신소재 반도체용 무기 화합물을 안정적으로 공급할 수 있는 제조시설을 확보하게 된다.
이날 조인식에 참석한 김문수 도지사는 “캐봇 마이크로일렉트로닉스사의 선진화된 기술과 노하우, 경험을 한국 공장에 정착시켜 국내 반도체 산업 및 소재산업의 발전에 기여해 줄 것을 당부 한다”며 도의 지속적인 행정 지원을 약속했다.
